客户案例 | 吉川三轴智能微雕喷砂机助力半导体陶瓷精密处理

一、客户背景

该客户是国内领先的半导体陶瓷零部件制造商，专注于高精度陶瓷产品研发与生产，核心产品包括陶瓷环、陶瓷板等，广泛应用于半导体制造设备核心环节，对产品表面精度、洁净度及一致性有着严苛的行业标准。

二、解决方案：吉川JCK-CNC1200-A型三轴智能微雕喷砂机

针对半导体陶瓷零部件的精密处理需求，客户引入吉川JCK-CNC1200-A型三轴智能微雕喷砂机，该设备为客户陶瓷产品表面处理量身定制开发，精准匹配半导体行业对精度与洁净度的核心要求，助力客户突破生产瓶颈。

设备核心配置

• 三轴伺服机械臂：X/Y/Z轴行程均为500mm/500mm/100mm，重复定位精度≤±0.1mm，确保精密定位、精准喷砂，适配陶瓷零部件的精细处理需求。

• 喷砂方式：采用连续负压自动喷砂工艺，配备1支高效喷枪，喷砂均匀可控，避免损伤陶瓷精密表面。

• 适用砂料：兼容800-2000目SiC砂或Al₂O₃砂，可根据不同陶瓷产品工艺要求灵活选择，满足多样化表面处理需求。

• 工作台：Ø450mm规格，承重≤50kg，自带避让孔设计，适配不同尺寸陶瓷零部件，避免工件干涉，保障加工精度。

• 除尘系统：配置唐纳森滤芯+九州风机，双重净化，尾排粉尘浓度＜30mg/m³，符合半导体行业洁净生产标准。

• 控制系统：PLC+触摸屏操作，搭配SMC比例阀闭环控压，控压精度±1%，参数可精准调控，操作便捷且稳定。

三、处理效果达成

JCK-CNC1200-A型三轴智能微雕喷砂机投用后，全面提升客户陶瓷产品处理品质与生产效率，在精度、一致性、环保等方面均达成预期目标，具体效果如下：

1. 表面质量一致可控，契合行业高标准

喷砂后陶瓷产品表面均匀无痕、无色差，无重复喷砂、漏喷等瑕疵，表面洁净度完全符合半导体陶瓷零部件要求；同时可根据工艺需求，灵活调节表面粗糙度，适配不同等级的半导体陶瓷产品标准。

2. 加工精度与稳定性显著提升

三轴伺服机械臂定位精准，重复定位精度达±0.1mm，有效保障批量生产中每一件产品的处理一致性，大幅降低产品不良率；配备自动吹净枪及程序内吹扫功能，减少人工干预，进一步提升加工稳定性，降低人为误差。

3. 生产效率与柔性大幅增强

设备支持自动、手动双模式快速切换，适配不同生产场景；可自行编程设定作业时间，灵活应对多品种、小批量的生产需求，有效提升产线柔性与生产效率，助力客户快速响应订单交付。

4. 环保与安全全面达标

采用密闭式喷砂舱设计，搭配两级除尘系统，尾排粉尘浓度＜30mg/m³，满足半导体行业洁净生产要求；设备运行噪声＜85dB，配备急停、门限保护等多重安全装置，保障车间作业环境安全、合规。

四、客户评价

五、适用领域拓展

吉川JCK-CNC1200-A型三轴智能微雕喷砂机，除适配半导体陶瓷零部件精密处理外，还广泛应用于以下领域：

• 半导体陶瓷零部件

• 精密电子元器件

• 硬质合金、玻璃、晶体材料的精密表面处理